高純氣體(HighPurityGases),通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳?xì)浠衔?,純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域?qū)?,在半?dǎo)體工業(yè),高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣;高純氣體可作為配制混合氣的底氣。